石墨支架是真空炉、烧结炉内热场辅助支撑构件，包含小型支撑垫块、侧边支架、隔热层支撑托架等，配合石墨炉床、石墨柱分担隔热板、治具的局部载荷，多用于多层隔热屏分层支撑、小型工装侧边限位，结构样式灵活多样，尺寸偏小但对平整度、抗压、抗热震性能要求严苛。

石墨支架选用高密度细结构石墨加工，整体结构紧凑致密，无疏松沙眼，高温承重不易断裂、塌陷。加工根据支撑位置需求定制平板式、L 型托架、台阶限位支架，上下支撑接触面精磨平行，多层堆叠受力均匀，避免单点应力集中高温开裂。多层隔热屏配套的石墨支架尺寸统一，保证隔热板材水平排布，隔热缝隙均匀，减少热量外泄，降低电炉能耗。高温重载工况可选用碳碳复合材料支架，强度、韧性优于普通石墨支架。

真空半导体设备配套石墨支架必须使用高纯低灰石墨，加工无尘无油污，避免高温析出杂质污染晶圆；空气连续烧结设备支架喷涂抗氧化涂层，延长循环使用寿命。很多厂家忽略支架平整度，隔热板材倾斜，炉膛温差变大，工件烧结品质参差不齐。海角社区国产精伦石墨可按需定制各类异形石墨支架，图纸、旧样品均可复刻，标准小件现货充足，非标支架快速加工，适配各类真空炉、推板窑热场分层装配。

石墨支架承担炉内热场局部支撑、限位作用，规格匹配、平整耐用的石墨支架，能够保证多层隔热结构排布规整，均衡炉膛温度，减少热量损耗，辅助整套热场稳定运行，降低工件烧结不良率。